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                材料制備相關設備 當前位置:網站首頁 > 產品展示

            布里奇曼晶體生長爐

            發布時間:2021-08-18  瀏覽次數:618


            設備簡介:

                適用于布里奇曼方法(坩堝下降法),在真空、保護氣氛或氧化氣氛下的晶體生長,可預存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進給速度(長晶速率),任意切換;長晶結束,報警提示,生成實驗報告并導出(包含但不限于溫度,氣體流量,進給速率等)。





             

             

             

             

             

             


            配置詳

             

            項目

            設備技術指標選擇

            加熱系統

             

            晶體生長環境選擇

            氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態

            長晶溫區選擇

            單溫區200mm /300mm/400mm

            雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

            三溫:200+200+200mm

            反應腔尺寸選選擇

            Φ50/Φ60/Φ80/Φ100更多選擇聯系客服

            主控最高工作溫度

            1150/1650

            控溫精度

            300~1150±0.5

            主控爐膛材料

            高純多晶纖維復合耐火保溫層

            主控爐膛模式

            環形加熱整體密閉

            密封方式

            水冷不銹鋼密封法蘭

            提拉系統


            長晶模式選擇

            坩堝下降法 /坩堝平移法

            物料裝載模式

            上吊裝下推進模式/下裝載模式

            晶體運動方式選擇

            坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉

            結構

            雙層滑軌結構,C7大力距滾珠絲杠,SPY鋁托光軸直線導軌

            長晶進給系統

            伺服進給高精度運行平穩,大扭矩諧波減速進給速度30μm/hr~30000μm/hr可調,物料下推進運動模式,無旋轉

            裝料密封方式

            電動密封法蘭

            裝料密封電機

            57CM23閉環步進電機,平穩高速

            氣系統

             

            流量計選擇

            1/2/3路質子子流量計100sccm  200sccm  ,500sccm            

            氣路管芯

            專用不銹鋼氣體管道(1/4"

            調節閥類型

            手動調節閥

            管道常態

            常閉

            測量精度

            ±1.0%F.S

            線性度

            ±0.5%F.S

            重復精度

            ±0.2%F.S

            壓力范圍

            -0.1-0.15 MPa

            響應時間

            2S

            工作環境溫度

            (1550)

            精度保證溫度

            (1535)

            真空系統


            真空類型選擇

            NBD-4C真空泵/ NBD-1013A 分子泵系統

            真空計類型

            數字真空計/模擬真空計

            系統真空

            5pa  /2.8*10-3pa

            操控系統


            操控模式

            NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,10寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式;

            長晶工藝設置

            可預存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進給速度(長晶速率),任意調用;長晶結束,報警提示,并生成實驗報告導出,()包含但不限于溫度,氣體流量,進給速率等)

            溫度校正

            主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統全程進行非線性修正(詢問客戶長晶溫度點,可做特別效驗)

            實現功能

            可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態生長的各類晶體(坩堝下降法)

            系統保護

            超溫報警,過流保護,斷偶提示

            隨機產品配置

            反應腔1 ,鎳鉻鋁吊絲5米 ,說明書1;隨機工具等。

            服務項目

            運輸保險費,包裝費,安裝及技術服務費; 提供12個月質保,觸控系統24個月,終身保修




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